清洁对象：TSP、CVD真空管道组件，各种小型螺丝

清洁目的：去除工件内部可溶于水的附着物、蒸镀靶材

设备功能：

①、该套清洗设备采用超声波+加热方式，可以对真空管道内部附着的脏污快速清洗，设备配置4套清洗槽，分别两组大小槽，最大应对工件尺寸为L2000*W500mm；

②、设备整体采用SUS316焊接装配成型，其中洗槽做PTFE涂层，使其具有优秀的防腐性能；

③、所有管道敷设采用主副设计，主路分别设计手阀和电磁阀，旁路设计手阀，气、液、工业排水、气体混排采用标准管道接驳，可以快速连接和更换；

④、设备配置照明、手动吹扫、喷淋单元，每个独立的清洗腔室配备阻尼式翻盖，可以实现任意位置悬停，便于人员取放料和清洗作业；

⑤、设备采用本地PLC控制方式，采用温控模块动态调整加热，通过触摸屏实现人机交互。