清洁对象：EVEN chamber外腔管道组件、Inner plater、Nozzle、Host crucible、Point source组件

清洁目的：去除工件内部可溶于水的附着物、蒸镀靶材

功能模块：PLC控制模块、喷淋&鼓泡清洗、超声波&加热、给排水&漏废液检测回收、升降组件

材质说明：主体结构和给排水管路使用sus316L材质；所有气态接触面采用PTFE喷涂，保证高温高湿环境下良好的抗腐蚀性能

关于备品备件存储治具：

Inner Plate、 Nozzle件限位方式：两端定位

Point Source定位方式：镂空托架（便于超声清洗和喷淋）