二代清洗机在一代基础上优化了给排水材料抗腐蚀性，同时由于设备限高因素影响（浸泡深度要求750mm），因此将一代丝杆导轨升降方式改为同步升降器结构，采用蜗轮丝杆运动的方式， 保证所有受力位置同步升降（如图示）：

清洁对象：CVD chamber外腔管道组件

清洁目的：去除工件内部可溶于水的附着物、蒸镀靶材

功能模块：PLC控制模块、超声波&加热、给排水&漏废液检测回收、升降组件

材质说明：主体结构和给排水管路使用sus316L材质；所有气态接触面采用PTFE喷涂，保证高温高湿环境下良好的抗腐蚀性能

蜗轮丝杠升降机特点：

● 结构紧凑，体积小，重量轻，无噪音；

● 动力源广，安装方便，支撑形式多样（可以单独使用或组合使用）；

● 可靠性高，使用寿命长，定位精度高