设备说明：

①、所有fence frame采用GB4080&8080系列型材，保证整体安装强度；

②、所有cover使用三菱5mm防静电PVC，确保ESD消散效果；

③、fence顶部&port侧位安装FFU（常规、有机、化学三类），堆叠使用，保证整体气流和洁净度效果；

④、2port分别安装Corner floating&align bar，保证cassette定位精度偏差≤0.5mm；

⑤、电气元件选型分别使用smc/tpc/三菱/欧姆龙/pro-face等；

⑥、index与robot、stocker交互需求可按需定制。