设备参数：

设备工艺能力：

①、4寸晶圆抛光TTV＜4μm，LTV＜1.3μm，良率≥95%（以TROPEL测量数据为标准）；

②、4寸/6寸晶圆抛光，单轮产能72片，日产能≥1440片，每轮去除量3-4μm ，平均加工时间≤60分钟 ；表面质量良率≥95%，TTV不良＜4%；

③、运行过程中，压力、转速、加工时间、冷却水流量等可以实时调节；

④、外环与内盘可单独供压，且控压稳定，偏差≤2Kg；工件盘与大盘循环冷却系统独立控制；

⑤、抛光液系统带控温功能，温度可自行设定，带搅拌、过滤、液位监控、流量监控功能；

⑥、报警提示（报警灯+触摸屏提示），有历史报警和生产日志；

⑦、支持扩展集成到自动化生产线中（三菱选FX-5u系列），可以实现MES系统实现数据互联互通。