设备结构：

● 该设备由MGV来料、Robot、铲片单元、装篮工位和花篮上下料五大模块组成；

● 来料区域：port支持用户自定义和扩展，采用MGV推送弹夹上料方式；

● Robot：采用六轴机械臂，末端搭配仿形Arm，确保搬运稳定无掉盘、甩盘等；

● 铲片单元：由俯仰角度变位器、旋转平台、铲刀组件及工业CCD四大模块构成。变位器负责将待铲片的陶瓷盘旋转到合理位置，CCD负责晶圆定位并引导旋转平台变换角度，铲刀组件通过固定角度前后运动，瞬间接触将晶圆从陶瓷盘表面分离；

● 装篮工位：采用快速滑道搭配顶升模组的方式，分离后的晶圆通过快速滑道进入花篮，模组逐层顶升晶圆依次进篮；

● 花篮上下料：该模块由空花篮上料/满花篮下料链板线、花篮搬运模组构成，链板线支持任意位置取放料，设备自动执行整列，避免夹持偏位等；搬运模组负责将空蓝搬运至升降模组，和满蓝搬运至下料链板线。

核心优势：

①、单机产能＞4万片/22h；

②、设备良率稳定，铲片破片率＜0.001%；

③、设备支持4寸/6寸晶圆、花篮快速换线，所有工艺参数支持用户自定义；

④、工业相机自动扫码，铲片数据可以本地存储和服务器上传。