功能描述：

用于测量晶圆直径，椭圆度，平边长度等参数，并根据检测的结果对每片产品快速分类（分类规格、工位支持扩展）

动作流程：手动上满篮、空篮→输送线搬运→检测单元晶圆搬运→AOI→输送线体分类→手动下满篮

设备参数：

核心优势：

①、测量精度极高，设备分辨率0.01mm ，直径/椭圆度/平边长度重复测量精度≤0.01mm；

②、测量效率极快，采用非接触式投影测量，动态检测时4寸单片CT≤2s，日产能5.5万片/台；

③、检测数据支持本地存储和NG实时报警，检测控制器配置有外部接口，支持主流通信协议；

④、灵活的工位管理和参数设置模式，支持屏蔽、修改、扩展等多种人机设置；

⑤、极简便的操作方式，可以单人对应多台设备运维。