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陶瓷盘带晶圆清洗机
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产品介绍
设备采用全不锈钢材质焊接装配成型，X运动控制采用伺服+齿轮齿条，Y运动控制采用伺服+链轮链条，最大移栽质量2T，整体强度可靠，定位准确。
产品详情
功能描述：
将带有晶圆的陶瓷盘或光盘按照整弹夹方式进行清洗，保证洁净度的情况下最大限度提升产能
动作流程：MGV上料→翻转→过渡式清洗+换向→翻转→MGV下料
工艺路线：
工位 | 上料 | 一次药剂清洗 | 二次药剂清洗 | 纯水漂洗 | 风切 | 下料 |
| 工艺 | 推车来料，弹夹翻转90° | 超声波 加热 0~120s（不带片为0-360S）可设定 | 超声波 加热0~120s（不带片为0-360S）可设定 | 超声波溢流 | 慢拉风切 | 推车来料，弹夹翻转90° |
| 材质 | SUS304 | SUS316 | SUS316 | SUS316 | SUS316 | SUS304 |
核心优势：
①、能够实现两种物料（陶瓷盘带片或不带片）清洗，且产能极高（弹夹形式上料），日产能最大可达2700盘/台；
②、高负载运动控制，最大清洗搬运质量2T，整机结构稳定，桁架运动精度可靠；
③、清洗工艺成熟稳定，支持宽泛的工艺参数设置和recipe扩展。