核心功能：
1、支持D355mm&D546mm陶瓷盘使用，可对应2/4/6/8寸晶圆贴蜡需求；
2、晶圆采用双烘烤工位，双烘烤工位、贴腊工位温度低于设定值报警提示；
3、增加啕瓷盘预冷却位，避免直接冷却，温差大造成裂盘；
4、设备包含晶圆贴陶瓷盘前平边角度视觉巡正系统和陶瓷盘分度系统，确保贴蜡盘分度稳定，贴出晶圆边距、间距一致；
5、蜡槽密封良好无漏蜡，且蜡槽易清理；蜡罐底部带排泄阀，定期清洗操作方便；
6、546mm陶瓷盘贴4寸晶片双圈（18片）CT：≤7.5min/盘；
7、贴蜡后TTV：四角表测量≤3um。