设备结构：

1、除设备桁架（XZ）和振荡单元（Z）采用Q235方管外，其余所有位置主材质均使用SUS304，保证良好的外观效果和承重性能；

2、桁架均使用伺服驱动齿轮齿条+直线导轨，振荡使用步进驱动滚珠丝杆+直线导轨；

3、上下料采用MGV方式，人员只用操作小推车，且设备出入口自带定位和导向装置，安全稳定。

工艺介绍：

1、一二&四五超声槽，全部配超声波和加热棒，槽底敷设鼓泡管，提篮垂直方向通过步进电机+丝杆短行程振荡，其中一二槽起振频率40Khz，四五槽80Khz；

2、三槽使用增压喷淋系统，喷淋方向垂直于晶圆厚度方向，喷淋密度可以根据花篮密度调整，配置独立手阀，流量可调；

3、六槽采用对边风淋方式，风淋方向垂直于晶圆厚度方向；提篮垂直方向通过步进电机+丝杆短行程振荡；

4、所有配置功能和参数支持HMI自定义，生产recipe支持50条以上扩展；

5、设备产能最高可达到7.5万pcs/22h（具体根据用户设定的CT有差异）。