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光伏蒸镀设备金属源
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产品介绍
金属源装置适用于光伏行业的CIGS（铜铟镓硒）薄膜太阳能电池生产中，是共蒸发工艺的核心装置之一，负责在高温真空蒸发环境下装载铜（Cu）、铟（In）、镓（Ga）三种金属元素，并通过电阻加热实现源材挥发而形成均匀的金属前驱层，为后续硒化反应奠定基础。
产品详情
装置结构与工作原理：
多源独立蒸发腔设计：装置配备氮化硼（PBN）电阻加热坩埚，分别装载高纯Cu、In、Ga金属（纯度≥4N），可通过控制加热功率来实现各元素蒸发速率。
工艺优势与产线价值：
通过调节各金属源的蒸发速率，可灵活控制CIGS吸收层的Ga掺杂比例，实现带隙从1.1 eV（纯CIS）到1.7 eV（高Ga）的连续调控，适配不同光照条件下的高效发电需求；
适配大面积与柔性基底：装置支持300mm×300mm以上基板的均匀沉积，膜厚不均匀性<5%；
高材料利用率：采用定向蒸发与挡板屏蔽技术，金属利用率可达85%以上，降低高成本In、Ga的消耗。
该金属源装置与线性硒源装置协同工作，构成CIGS电池“两步法”共蒸工艺的核心，保障电池组件平均转换效率≥18%且稳定，最高可达19.2%（实验室小面积器件）。