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光伏蒸镀设备硒源
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产品介绍
硒源装置主要用于光伏行业CIGS（铜铟镓硒）薄膜太阳能电池的量产线，其核心是采用线性硒源蒸发系统，以实现大面积基板上硒化反应的高均匀性与稳定性，是决定薄膜结晶质量与电池转换效率的核心环节。
产品详情
装置结构与工作原理：
该装置通过柱壳状线性蒸发器结构，沿基板运动方向布置直线型蒸汽喷口，使硒蒸气呈条带状均匀输出，有效克服传统点状源导致的膜厚分布不均问题。配合独立的二次加热模块，可对已蒸发的硒蒸气进行再活化，提升反应活性与成膜致密度。
工艺优势与产线价值：
通过精确控制硒蒸气压力与流量，可调节Ga/(In+Ga)比例，实现1.04–1.7 eV范围内带隙可调，优化光电转换性能；
采用固态硒粉加热蒸发方式，避免使用剧毒易爆的H₂Se气体，降低安全风险与尾气处理成本；
线性硒源装置可实现200×200mm²以上基板的均匀供硒，膜厚偏差<5%，满足工业化量产对一致性的严苛要求。