在晶圆制造中，倒边（Edge Grinding）用于去除切割产生的毛刺和微裂纹，提升晶圆强度与良率。丝杆导轨系统在此过程中承担以下重要职责：

‌高精度定位‌：通过C3-C5级高精度滚珠丝杆与超精密导轨（SP/UP级）配合，实现±1μm以内的重复定位精度，保障倒边轮廓一致性；

‌稳定动态响应‌：采用预紧双螺母结构消除反向间隙，适应高频启停工况，确保设备在200次/分钟以上的加工节拍下仍保持稳定；

‌耐环境腐蚀‌：导轨常采用不锈钢基体+特殊镀层设计，抵抗晶圆清洗液等化学介质侵蚀，满足SEMI F47标准的潮湿环境运行要求。