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石墨、陶瓷类精密加工产品

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产品介绍
石墨舟‌是一种以‌高纯度石墨‌为基材制成的特种容器,广泛应用于高温、高腐蚀性工业环境中,具有‌耐高温、化学稳定性好、强度高、导电性能优异‌等特点。
‌PBN坩埚‌(热解氮化硼坩埚)是一种高纯度特种陶瓷容器,具备‌超高纯度、耐高温、化学惰性、抗热震性强、低放气率‌等核心特点,广泛应用于高端半导体、OLED、光伏等精密制造领域。
石墨镀PBN电极‌是一种在高纯度石墨基体表面通过化学气相沉积工艺镀覆一层‌热解氮化硼‌的功能性复合电极,结合了石墨的导电性与PBN的高温稳定性、化学惰性,广泛用于高端半导体、光伏及真空热处理设备中
陶瓷吸盘‌是一种基于‌真空吸附‌或‌静电吸附‌原理的高精度工艺治具,广泛用于半导体、显示面板、光伏等高端制造领域,具有‌高平整度、高刚性、防静电、耐腐蚀、化学惰性‌等突出特点。
产品详情

石墨烯

image.pngimage.png石墨舟‌是一种以‌高纯度石墨‌为基材制成的特种容器,广泛应用于高温、高腐蚀性工业环境中,具有‌耐高温、化学稳定性好、强度高、导电性能优异‌等特点。

主要用途:

‌光伏行业‌:在PECVD工艺中,用于太阳能电池片的镀膜和烧结;

‌半导体制造‌:用于高温炉管、加热器等设备,承载晶圆进行热处理;

‌锂电池生产‌:用于制造电极材料,提升导电性和结构稳定性。

PBN坩埚

image.pngimage.pngPBN坩埚‌(热解氮化硼坩埚)是一种高纯度特种陶瓷容器,具备‌超高纯度、耐高温、化学惰性、抗热震性强、低放气率‌等核心特点,广泛应用于高端半导体、OLED、光伏等精密制造领域。

主要用途:

‌化合物半导体单晶生长/分子束外延(MBE)‌

‌OLED蒸镀技术‌:用于蒸镀Ag、Mg/Ag合金等金属阴极层

‌光伏领域(CIGS)‌:作为舟皿组件用于铜铟镓硒薄膜太阳能电池的材料蒸发过程。

石墨镀PBN电极image.pngimage.png

石墨镀PBN电极‌是一种在高纯度石墨基体表面通过化学气相沉积工艺镀覆一层‌热解氮化硼‌的功能性复合电极,结合了石墨的导电性与PBN的高温稳定性、化学惰性,广泛用于高端半导体、光伏及真空热处理设备中

主要用途:

高温真空炉中的加热元件支架‌/‌MOCVD设备关键部件/‌OLED蒸镀设备电极组件

‌半导体退火工艺中的复合加热器/‌CIGS光伏薄膜制备系统

陶瓷吸盘

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陶瓷吸盘‌是一种基于‌真空吸附‌或‌静电吸附‌原理的高精度工艺治具,广泛用于半导体、显示面板、光伏等高端制造领域,具有‌高平整度、高刚性、防静电、耐腐蚀、化学惰性‌等突出特点。

主要用途:

半导体制造‌:在光刻、刻蚀、研磨、检测等工序中作为晶圆承载平台,提供无接触、无污染的固定方案,保障加工精度。

‌显示面板行业‌:用于大尺寸、超薄玻璃基板的传输与固定,防止破裂和污染,提升OLED/LCD生产良率