设备功能：

将Mask/Frame从设备和STK之间转运

将刀模从存放架转运到设备内部

从Port口到分拣、待检区转运Tray盘

设备功能：

PVD伞盖搬运

工作过程：

● Z轴电机动作，带动手臂上下移动

● Y轴电机动作，两级手臂伸出

● Z轴和Y轴配合动作，完成取、放操作

● 刀模架垂直状态时，与存放架对接

● 手动将刀模从设备推入刀架

● 翻转刀模架，与自动设备水平对接

工作过程：

● 手动将MGV推到port位置

● 设备气缸锁住定位块

● 旋转手轮，上下滚筒、前侧料挡、左右整列臂同时动作，将tray lot归正

● 取放料

工作过程：

●手动控制升降和机械自锁

●前进后退使用guide roller导向

●带防坠功能