OLED蒸镀机中的chopper、inner plater和防浪板‌是蒸镀工艺中用于控制膜层沉积均匀性与精度的关键机械部件，主要用于配合金属掩膜板（FMM）实现高精度图案化蒸镀。 ‌Chopper（斩波器）‌：是一种高速旋转的机械快门，位于蒸发源上方，通过周期性开合控制有机材料蒸气的通断，实现对膜厚的精细调节。它能减少材料扩散不均带来的厚度波动，提升多层膜结构的界面清晰度。 ‌Inner Plater（内挡板）‌：位于蒸镀腔体内，用于遮挡非沉积区域的材料蒸气，防止其附着在基板边缘或不需要的位置，从而提高蒸镀图案的清晰度和良率。 ‌防浪板‌：又称挡浪板或挡料板，用于抑制蒸镀材料在真空腔内因气流扰动产生的“浪涌”现象，避免材料不规则沉积，确保薄膜厚度一致性，尤其在大面积基板蒸镀时作用显著。

晶圆倒边设备中的丝杆导轨‌是实现高精度边缘加工的核心传动部件，负责驱动倒边磨头沿晶圆边缘进行微米级精准运动，确保边缘平滑无缺陷。

‌硒源装置主要用于光伏行业CIGS（铜铟镓硒）薄膜太阳能电池的量产线，其核心是采用‌线性硒源蒸发系统‌，以实现大面积基板上硒化反应的高均匀性与稳定性，是决定薄膜结晶质量与电池转换效率的核心环节。

金属源装置适用于光伏行业的CIGS（铜铟镓硒）薄膜太阳能电池生产中，是共‌蒸发工艺‌的核心装置之一，负责在高温真空蒸发环境下装载铜（Cu）、铟（In）、镓（Ga）三种金属元素，并通过电阻加热实现源材挥发而形成均匀的金属前驱层，为后续硒化反应奠定基础。

将研磨之后的晶圆通过水下摩擦分片方式进行分片，并快速装篮，同时剔除NG品。

设备结构： 1、除设备桁架（XZ）和振荡单元（Z）采用Q235方管外，其余所有位置主材质均使用SUS304，保证良好的外观效果和承重性能； 2、桁架均使用伺服驱动齿轮齿条+直线导轨，振荡使用步进驱动滚珠丝杆+直线导轨； 3、上下料采用MGV方式，人员只用操作小推车，且设备出入口自带定位和导向装置，安全稳定。

核心功能： 1、支持D355mm&D546mm陶瓷盘使用，可对应2/4/6/8寸晶圆贴蜡需求； 2、晶圆采用双烘烤工位，双烘烤工位、贴腊工位温度低于设定值报警提示； 3、增加啕瓷盘预冷却位，避免直接冷却，温差大造成裂盘； 4、设备包含晶圆贴陶瓷盘前平边角度视觉巡正系统和陶瓷盘分度系统，确保贴蜡盘分度稳定，贴出晶圆边距、间距一致； 5、蜡槽密封良好无漏蜡，且蜡槽易清理；蜡罐底部带排泄阀，定期清洗操作方便； 6、546mm陶瓷盘贴4寸晶片双圈（18片）CT：≤7.5min/盘； 7、贴蜡后TTV：四角表测量≤3um。

设备采用全不锈钢材质焊接装配成型，X运动控制采用伺服+齿轮齿条，Y运动控制采用伺服+链轮链条，最大移栽质量2T，整体强度可靠，定位准确。

用于测量晶圆直径，椭圆度，平边长度等参数，并根据检测的结果对每片产品快速分类（分类规格、工位支持扩展）

用于晶圆厚度测量，根据用户设定的厚度等级快速分类（分类规格、工位支持扩展）

该设备是一种全自动化检测设备，可以实现陶瓷盘表面晶圆TTV的自动检测和数据分析管理。 其中的数据分析管理模块，可以监测研磨、抛光等工艺前后晶圆厚度减薄量是否达标，进而实现对工艺现场的动态监控。

该设备是一种全自动化陶瓷盘铲片装置，用于破除晶圆和陶瓷盘之间的蜡层粘贴而实现铲片效果。